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電源介紹
INTRODUCTION OF POWER SUPPLY
BP系列雙極濺射電源主要應(yīng)用于等離子輔助薄膜沉積 PECVD 和雙陰極濺射鍍膜領(lǐng)域。以其優(yōu)良的控制算法,能夠提供穩(wěn)定可靠的雙極性輸出,并對功率、電壓、電流、頻率和脈沖時間等提供精確的輸出控制。
電源特點
CHARACTERISTICS OF POWER SUPPLY
東方四通
東方四通
  • 東方四通
    采用模塊化設(shè)計,按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計。
  • 東方四通
    波形和頻率靈活可調(diào)。
  • 東方四通
    雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一。
  • 東方四通
    高穩(wěn)態(tài)功率輸出。輸出穩(wěn)定性±0.2%。
  • 東方四通
    電弧主動抑制技術(shù)。
  • 東方四通
    極快的電弧響應(yīng)。
  • 東方四通
    極低的電弧攜帶能量。小于 0.3mJ/kw 的能量攜帶。
  • 東方四通
    豐富的通訊接口。
  • 東方四通
    控制指令的快速響應(yīng)。
技術(shù)參數(shù)
TECHNICAL PARAMETER
型號
Bipolar Sputtering BP-6030Bipolar Sputtering BP-6040Bipolar Sputtering BP-6060
輸入?yún)?shù)

輸入電壓400V - 480V 10% (3+ PE,No Neutral)
輸入頻率
50/60Hz(45-65)Hz
最大輸入電流3x66A3x88A3x 132A
輸出參數(shù)
額定輸出功率30kW
40kW60kW
電壓范圍0-600V/0-1000V0-600V/0-1000V0-600V/0-1000V
電流范圍
0-125A/0-75A
0-166A/0-100A0-250A/0-150A
脈沖頻率0,1Hz-100kHz

脈沖時間

Ton: 1-1000 ms  Toff: 1-1000 ms
工作模式功率、電壓、電流    

輸出精度

±0.5%
重復(fù)精度±0.2%
LCD

支持

RS232

支持

PROFIBUS/RS485支持
EtherCAT支持
模擬量輸入支持
ARC檢測lmax、 Uxl、dU
ARC能量<0.3 mJ/kW
ARC處理時向<100ns
工作環(huán)境溫度+5°C~+45°
存儲環(huán)境溫度-25°C~+55°
相對濕度5-85%無冷凝 No condensation
氣壓86-106kPa
防護等級IP40
外形尺寸
480mm x 356mm x 730mm480mm x 356mm x 730mm480mm x534mm x 730mm
重量98kg108kg148kg
絕緣阻抗
＞5MQ
效率

>90%

冷卻方式水冷 Water coling